Performanța celor mai mulțisisteme de vidse va schimba în timp, în special pentru echipamentele de vid utilizate în producție, care aproape inevitabil întâmpină probleme precum scăderea gradului de vid. O cauză comună a acestor probleme este scurgerea.
Detectarea regulată a scurgerilor este importantă
Scurgerile mari sunt de obicei foarte evidente: presiunea din camera de vid nu scade la un ritm normal sau presiunea maximă este semnificativ mai mare decât valoarea normală. Cu toate acestea, uneori, scurgerile mici sunt greu de detectat din cauza ușurinței cu carepompe de vidpoate face față sarcinilor de gaz cauzate de scurgeri. Chiar dacă citirea vacuometrului este încă la un nivel normal, apariția scurgerilor poate aduce în continuare gaze neașteptate (cum ar fi oxigenul) în camera de vid, care uneori pot avea un impact foarte grav asupra procesului (cum ar fi anumite procese de acoperire) . Deci, indiferent dacă există o scădere semnificativă a presiunii în sistemul de vid, ar trebui efectuate teste regulate de scurgere.
Scurgere reală și scurgere virtuală
Nu toți timpul prelungit de pompare și căderea extremă de presiune se datorează scurgerilor. Înainte de a utiliza un detector de scurgeri pentru a detecta scurgeri, este necesar să înțelegeți cum să determinați dacă echipamentul de vid a scurs într-adevăr.
Poluanții atașați de peretele interior sau de peretele interior al unei camere de vid eliberează continuu gaz sub vid, iar acest fenomen se numește dezumflare. Când există un spațiu mort în interiorul camerei de vid, iar spațiul mort este conectat la interiorul camerei printr-un canal îngust, gazul din spațiul mort se va elibera lent sub vid, formând un fenomen similar cu dezumflarea sau scurgerea, care este de obicei numită scurgere virtuală.
Scurgerile reale pot fi găsite prin detectarea scurgerilor, iar aerisirea poate fi rezolvată și prin curățarea suprafeței interioare a camerei de vid. Cu toate acestea, odată ce apare o scurgere virtuală, este dificil de detectat și este necesar să se evite cât mai mult posibil structurile sau procesele care sunt predispuse la scurgeri virtuale în timpul proiectării și producției, cum ar fi conexiunile filetate (se pot folosi șuruburi goale dacă este necesar). ), fante lungi sau capilare, camere complet sudate pe ambele părți (se recomandă ca carcasele mai groase să fie complet sudate pe partea de vid și sudate intermitent pe partea atmosferică) și așa mai departe.
Următoarele două metode pot fi utilizate pentru a determina dacă există o scurgere reală în sistemul de vid.
Analiza curbei căderii de presiune
Datele istorice ale sistemelor de vid sunt unul dintre cele mai valoroase instrumente pentru înțelegerea performanței sistemelor mari de vid. Tehnicienii experimentați vor păstra cu atenție datele istorice și vor determina rapid cauza problemelor, comparând curba curentă a căderii de presiune cu ciclul anterior, când sistemul era în stare bună. De exemplu, folosind curba căderii de presiune prezentată în figura următoare, este posibil să se determine dacă există o scurgere.
În aceleași condiții de proces și funcționare normală a pompei de vid, dacă există o scurgere reală, scurgerea de gaz în cameră din exterior va face ca presiunea din cameră să scadă într-o poziție mai mare decât presiunea limită normală și apoi nu va mai scădea sau scădea foarte încet. Curba căderii de presiune este similară cu curba de sus din figura de mai sus. Când există o deflație sau o scurgere virtuală, gazul se eliberează încet, iar rata de deflație scade. Sistemul poate atinge presiunea limită inițială, dar timpul până la atingerea presiunii limită încetinește semnificativ. Curba căderii de presiune este similară cu curba din mijloc din figura de mai sus.
Test de creștere a presiunii
Test de creștere a presiunii, cunoscut și sub denumirea de test de menținere a presiunii sau test de menținere în vid. Închiderea supapei dintre pompa de vid și camera sub vid poate provoca o creștere a presiunii (rebound) în cameră din cauza dezumflarii, scurgerii virtuale sau scurgerii. Prin împărțirea creșterii presiunii la timpul scurs, rata de creștere a presiunii a sistemului de vid poate fi calculată și reprezentată sub formă de curbă, așa cum se arată în figura următoare. Viteza de creștere și scădere a presiunii este de obicei exprimată în Pa/h. Pentru echipamentele industriale generale de vid, o rată de creștere a presiunii care depășește 1 Pa/h în timpul testării de menținere a presiunii trebuie investigată și rezolvată. Unele echipamente de vid înalt necesită o rată de creștere a presiunii de 0,5 Pa/h sau chiar mai mică.
Testele de cădere de presiune și de creștere a presiunii nu vor localiza scurgeri, ci doar indică efectul cumulativ al tuturor surselor de gaz (scurgeri reale și dezumflare sau scurgeri virtuale). Dacă există suspiciunea unei scurgeri reale, următorul pas este de obicei să utilizați un detector de scurgeri de heliu pentru detectarea scurgerilor.
Scurgeri externe și scurgeri interne
Scurgerea la care ne referim de obicei se referă la scurgerea externă, adică la scurgerea din exterior spre interiorul camerei de vid sau conductei; Scurgerea internă se referă la scurgerea care are loc între două camere de vid care ar fi trebuit izolate, între două conducte de vid izolate de supape sau între o cameră de vid și o conductă.
Scurgerile externe pot fi detectate cu ușurință prin detectoare de scurgeri, în timp ce scurgerile interne pot fi prejudecate numai prin menținerea presiunii segmentate și alte metode. Apoi, conducta de pe o parte a supapei suspecte poate fi îndepărtată și poate fi efectuată detectarea scurgerilor (sau un detector de scurgeri poate fi conectat la o parte a supapei suspecte și poate fi introdus gaz heliu în conducta de pe cealaltă parte pentru detectarea scurgerilor).
Scurgere dinamică
În sistemele de vid în care există transmisie de mișcare, se folosesc etanșări dinamice. Aceste structuri dinamice de etanșare sunt susceptibile de a etanșa bine în condiții statice, dar se scurg în timpul mișcării; De exemplu, supapele care folosesc garnituri din cauciuc pentru etanșare dinamică (între tija supapei și corpul supapei) sunt mai predispuse la acest fenomen. Probabilitatea ca acest fenomen să apară nu este mare, dar datorită faptului că supapa este de obicei într-o stare deschisă sau închisă în timpul detectării scurgerilor, această scurgere dinamică este dificil de detectat.
Pentru procesele critice, alegerea supapelor etanșate cu țevi ondulate poate reduce foarte mult probabilitatea de scurgere dinamică; Dacă supapa este încă etanșată cu o etanșare a arborelui, în timpul detectării scurgerilor, pulverizarea cu heliu în poziția tijei supapei în timpul funcționării supapei poate determina rapid dacă există o scurgere dinamică în supapă.
